The excellent scalability of the RCAT(Recess-Channel-Array-Transistor) technology for sub-70nm DRAM feature size and beyond

J. Y. Kim, D. S. Woo, H. J. Oh, H. J. Kim, S. E. Kim, B. J. Park, J. M. Kwon, M. S. Shim, G. W. Ha, J. W. Song, N. J. Kang, J. M. Park, H. K. Hwang, S. S. Song, Y. S. Hwang, D. I. Kim, D. H. Kim, M. Huh, D. H. Han, C. S. LeeS. J. Park, Y. R. Kim, H. J. Kim, Y. S. Lee, M. Y. Jung, Y. I. Kim, B. H. Lee, M. H. Cho, W. T. Choi, H. S. Kim, G. Y. Jin, Y. J. Park, Kinam KimShow 13 moreShow less