A Mechanically Enhanced Storage node for virtually unlimited Height (MESH) capacitor aiming at sub 70nm DRAMs

D. H. Kim, J. Y. Kim, M. Huh, Y. S. Hwang, J. M. Park, D. H. Han, D. I. Kim, M. H. Cho, B. H. Lee, H. K. Hwang, J. W. Song, N. J. Kang, G. W. Ha, S. S. Song, M. S. Shim, S. E. Kim, J. M. Kwon, B. J. Park, H. J. Oh, H. J. KimD. S. Woo, M. Y. Jeong, Y. I. Kim, Y. S. Lee, H. J. Kim, J. C. Shin, J. W. Seo, S. S. Jeong, K. H. Yoon, T. H. Ahn, J. B. Lee, Y. W. Hyung, S. J. Park, H. S. Kim, W. T. Choi, G. Y. Jin, Y. G. Park, Kinam Kim

Research output: Contribution to journal › Conference article › peer-review

16 Citations (Scopus)

Fingerprint

Dive into the research topics of 'A Mechanically Enhanced Storage node for virtually unlimited Height (MESH) capacitor aiming at sub 70nm DRAMs'. Together they form a unique fingerprint.

Engineering